光罩護膜全自動貼合設備 (KAM-201)

設備特色

• 可同時對應EUV與OPT兩種光罩護膜貼合需求
• 高潔淨型6軸機器手臂全自動移載Reticle及Pellicle，配置自動換爪系統
• 影像對位補償與貼合站主動式平行度調整機制，確保貼合精度
• 貼合精度自動檢驗功能
• 特殊光源AOI檢查Pellicle外觀瑕疵
• 對應AMHS自動取放並自動開盒

性能規格

• 貼合後光學變形量
  
  <2nm
• 貼合精度
  
  ±0.1mm
• 貼合壓力
  
  0.035～0.4 kN
• 超潔淨環境控制能力
  
  Particle >100nm，零檢出

光罩移載設備 (KAX-311)

設備特色

• 依製程指定，執行光罩旋轉、翻面與換盒等作業
• 可對應各種光罩盒(RSP150/200/Dual)
• 光罩盒充填氮氣，確保盒內保持低濕、低氧與高潔淨度環境
• 對應AMHS(SEMI E87, E84)自動取放
• 具備Pellicle方向正確性判斷
• 自動識別EUV與OPT光罩方向(0/90/180/270, flip/non flip)

性能規格

• 超潔淨環境控制能力
  
  Particle >100nm，零檢出
• 光罩換盒移載速度
  
  <3 min