晶圓外觀檢查設備 (KMM-321)

設備特色

• 晶圓巨觀目視檢查及微觀顯微鏡檢查雙重機能
• 巨觀檢測：搖桿控制馬達驅動翻轉機能，雙面檢查角度>45度，並記錄缺陷位置
• 微觀檢測：1000倍顯微鏡檢查，附CCD取像裝置，並記錄缺陷位置
• 多重晶圓載入機制：晶圓堆疊盒(Coin Stack Box)/前開式出貨盒(FOSB)
• 多重檢查流程：依Recipe設定流程
• 內建晶圓緩衝站，連續檢查不塞貨

性能規格

• 單片傳送時間
  
  <60 Seconds
• 平台定位精度
  
  ±2um
• 潔淨度
  
  ISO Class 4
  (FS-209E Class 10)

晶圓外觀檢查設備 (KMM-332)

設備特色

• 晶圓巨觀目視檢查及微觀顯微鏡檢查雙重機能
• 巨觀檢測：搖桿控制馬達驅動翻轉機能，雙面檢查角度>45度，並記錄缺陷位置
• 微觀檢測：1000倍顯微鏡檢查，附CCD取像裝置，並記錄缺陷位置
• 多重晶圓載入機制：1站晶圓堆疊盒(Coin Stack Box)/3站前開式出貨盒(FOSB)
• 多重檢查流程：依Recipe設定流程
• 內建晶圓緩衝站，連續檢查不塞貨
• 雙Robot 取放料， 傳送速度快

性能規格

• 單片傳送時間
  
  <30 Seconds
• 平台定位精度
  
  ±2um
• 潔淨度
  
  ISO Class 4
  (FS-209E Class 10)